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Mikroelektronik / Forschungszentrum für Mikrostrukturtechnik - fmt

Leiter: Prof. Dr.-Ing. Dr. h. c. mult. Jürgen Engemann

Wissenschaftliche Mitarbeiter:

  • Dr. rer. nat. Albrecht Brockhaus
  • Dipl.-Ing. Damian Dudek
  • Dr.-Ing. H. M. Hütten
  • Dipl.-Ing. Jacek Kedzierski
  • Dipl.-Ing. H. M. Keller
  • Dr.-Ing. Darek Korzec
  • Dipl.-Ing. Sebastian Kytzia
  • Dipl.-Phys. Felix Leu
  • Dr. rer. nat. Rainer Lütticke
  • Dipl.-Ing. Markus Teschke
  • Dr.-Ing. Detlef Theirich
  • Dipl.-Phys. Ingo Wegener
  • Dipl.-Ing. Alexander Ziegler

Anschrift:
Bergische Universiät Wuppertal
Forschungszentrum für Mikrostrukturtechnik - fmt
Geb. FM
Rainer-Gruenter-Str. 21
42119 Wuppertal
Telefon: 0202/439-1965
FAX: 0202/439-1412
E-mail: engemann{at}uni-wuppertal.de

Allgemeiner Überblick:

Die Forschungsaktivitäten des Lehrstuhls

Das Forschungszentrum für Mikrostrukturtechnik - fmt hat zur Zielsetzung, plasmabasierte Hochtechnologien in ihren Grundlagen weiter zu entwickeln und problemangepaßt auf wichtige Industriefelder zu übertragen. Dazu gehören ohne Anspruch auf Vollständigkeit die Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik, medizinische Einsätze, automotive Anwendungen, die Luft- und Raumfahrttechnik sowie der Maschinenbau.

Forschungsbereiche:

  • Simulation
    Partikel-Festkörper-Wechselwirkungen, elektromagnetische Felder, Gasströmungen
  • Entwicklung von Plasma- und Ionenquellen für den Niederdruck- und Atmosphärendruckbereich
    Mikrowellen-Plasmaquellen, kapazitiv/induktiv gekoppelte HF- und Hohlkathodenquellen, Plasmajets, dielektrisch behinderte Entladungen, Hybrid-Konzepte
  • Plasmadiagnostik
    Elektrisch, optisch,invasiv, nichtinvasiv, räumlich und zeitlich aufgelöst
  • Plasmabasierte Prozesse
    Plasmaaktivierung, Oberflächenmodifikation, Plasmareinigung, Abscheidung und Charakterisierung dünner funktionaler Schichten, Plasma-Volumenprozesse, Plasmasterilisation/-entkeimung

Wissenschaftliche Zusammenarbeit (Auswahl):

Inner-Universitär

  • Institut für Polymertechnologie IZ4:

    • Prof. Dr. U. Scherf, Makromolekulare Chemie, Fachbereich Mathematik und Naturwissenschaften
    • Prof. Dr. L. J. Balk, Lehrstuhl für Elektronik, Fachbereich Elektrotechnik, Infomationstechnik, Medientechnik

  • Sonderforschungsbereich / Graduiertenkolleg

    • DFG-Sonderforschungsbereich SFB 591 (Bochum, Düsseldorf, Jülich, Wuppertal) "Universelles Verhalten gleichgewichtsferner Plasmen: Heizung, Transport und Strukturbildung"
    • DFG-Graduiertenkolleg GK 1051 (Bochum, Düsseldorf, Wuppertal) "Nichtgleichgewichtsphänomene in Niedertemperaturplasmen: Diagnostik - Modellierung - Anwendungen"

Zusammenarbeit mit deutschen und internationalen Universitäten

  • EU-Programm (SOKRATES, TEMPUS)
    Studenten- und Dozentenaustausch mit der Technischen Universität Lodz, Polen
  • Universitätsverbund INTERACADEMIA (Japan, Polen, Ungarn, Rumänien, Deutschland, Slowakische Republik)
  • Universität Bochum
  • Universität Braunschweig
  • Universität Dortmund
  • Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST, Braunschweig
  • Chalalongkorn University, Bangkok, Thailand
  • Shizuoka University, Hamamatsu, Japan
  • Chiang Mai University, Thailand
  • University of Sevilla, Spanien
  • Birla Institute of Technology, Indien
  • SAHA Institute of Physics, Kalkutta, Indien

Industriekooperationen

  • JE PlasmaConsult GmbH, Wuppertal
  • Reinhausen Plasma GmbH, Regensburg
  • Inprotec AG, Heitersheim
  • EADS Deutschland GmbH, München
  • Condias GmbH, Itzehoe
  • Leonhardy GmbH, Reichenschwand
  • ROWO Coating GmbH, Herbolzheim
  • Softal electronic GmbH & CO. KG, Hamburg
  • Süss MicroTec AG, Garching
  • Kobe Steel, Ltd., Japan

Promotionen:

  • Andrej Ignatkov (2006), Kapazitiv gekoppelte Hochfrequenz.-Entladungen bei atmosphärischem Druck: Physik und Anwendungen für nicht-thermische Plasmabehandlung von Polymeroberflächen
  • Damian Dudek (2009), Gleichstromgetriebene gleichgewichtsferne Atmosphärendruck-Plasma-Quellen: Modellierung - Diagnostik - Anwendung
  • Sebastian Kytzia (2009), Analyse, Optimierung und Entwicklung von Mikrowellen angeregten Plasmaquellen mittels numerischer Simulation
  • Felix Leu (2009), Experimentelle Untersuchung und Modellierung der Volumenprozesse in einem mikrowellenangeregten Hexamethyldisiloxan/Sauerstoff/Argon-Beschichtungsplasma
  • Markus Teschke (2009), Piezoelektrisch betriebene Niederspannungs-Atmosphärendruck-Plasmaquellen

Diplomarbeiten:

  • Dobaczewski, Piotr (2006): Optical Characterisation of DC APP source behaviour
  • Ziegler, Alexander (2006): Entwicklung einer kompakten und effizienten Energieversorgungseinheit für den Betrieb von dielektrisch behinderten Atmosphärendruckplasmen niedriger Leistung
  • Ji, Xinhua (2006): Erzeugung komplexer Polarisationsverteilungen in piezoelektrischen Keramikstrukturen und Polarisation langer, piezoelektrischer Abschnitte
  • Stefanski, Lukasz (2007): Mass spectroscopic study of an inductive RF Plasma
  • Alashqar, Ramadan (2008): Diagnostik eines Atmosphärendruck-Plasmajets mit Hilfe von Massenspektroskopie

Master-Thesis:

  • Chiaobo, Chen (2006): PlasEt - optische Emissionsspektroskopie von dielektrisch behinderten Atmosphärendruckplasmen
  • Cui, Ruobing (2008): Q-Plas Modellversuch "Plasma-Oberflächenwechselwirkung"

Bachelor-Thesis:

  • Neudeck, Marius (2006) : Elektrische Charakterisierung von dielektrischen behinderten Oberflächenentladungen innerhalb geschlossener Verpackungen
  • Sauerbier, Rolf (2006): Zeitaufgelöste Diagnostik eines Atmosphärendruck-Plasmajets
  • Gutzeit, Sascha (2006): APP-Jet induzierte Hydrophilität: Optimierung der Reinigung von textilen und metallischen Oberflächen
  • Ghahri-Saremi, Sadegh (2007): Untersuchungen zum Ladungstransport in Atmosphärendruck-Plasmajets (FH Düsseldorf)
  • Möller, Jan (2008) : Implementierung und Optimierung eines HF-Plasmaprozesses zur Entschichtung von DLC-beschichteten Formen und Werkzeugen
  • Zilberberg, Kirill (2008): Konstruktive Maßnahmen zur Vergrößerung des Volumens eines gleichstromgetriebenen Plasmastrahls